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“我自己设计的。”
骆垚的眼睛和杨明的眼睛开始对视。
骆垚眼中一丝情绪都没有,杨明看不穿骆垚的想法,但直觉告诉他这事如果真是骆垚干出来的,那可以入选天方夜谭故事集选了。
杨明试探的问道:“小同志,这事情可不能开玩笑,euv光刻机光源系统这套技术现在连斯喀戎那边都没有掌握,你确定是你自己设计的?”
骆垚早就知道对方有此一问,所以很快地说起了原理:“光刻机一般分两种,一种是duv,而另一种就是euv,duv使用的光源波长是193纳米,而euv使用的是135纳米波长的光源。”
“根据瑞利判据r=d122,可以得出,光学系统能够分辨的尺寸和波长成正比。”
“所以如果要制造更小尺寸的芯片,就需要更短波长的光,也就是euv的光源。”
“实际上我们都知道euv的光源使用的还是193纳米的光,但是用它去连续击打两次液态金属锡,就能得到135纳米的光。”
“截止到这里都很简单,不过最难的是它的光路系统中的零件,也就是透镜。”
杨明边听边点头。
透镜的成本占到了整个光刻机的40左右,成本相当高昂。
光刻机的透镜就跟照相机镜头,由不同形状的镜片组成。
如果想更好的理解光刻机,也可以说它是一台大型的照相机。
不同的是,普通的照相机是来拍妹子的,而光刻机则是用来把集成电路图形通过曝光显影的原理,复制到晶圆上。
所以透镜就和照相机镜头一样,主打就是一个贵字。
就是打月亮的神镜头,都要叫光刻机透镜一声爸爸。
光刻机上面现在有二十多块透镜,现在能造出来的只有三家国外工厂,华国这边则还在研发中。
“当初这透镜就难倒了我们,长机那边产的透镜,透光率和光滑程度再怎么做也做不到外国那样,光源在上面反射出来的效果根本没法用。”杨明说到这个事情就觉得伤心。
“70年代我们没有搞半导体真的失去太多了。”杨明感叹道。
骆垚看着杨明那一张满藏遗憾的脸,想了想,决定摊牌了:“透镜的技术难点其实都在这个硬盘里面。”
说着,骆垚将他的红色硬盘拿了出来,放在了会议桌上。
会议室内其他四个人都看着桌上的红色硬盘,默不出声。
顶尖的透镜技术都在红色硬盘里面?
这怎么可能?
就在大家犹豫的时候,饶慧灵坐不住了,她伸手拿过了硬盘。
“我们先来看看再说。”
饶慧灵拿过电脑接入硬盘,开始看了起来,不一会儿她就不可思议地看着屏幕说:“透镜的光学晶体极为特殊,只有高纯稀土卤化物中晶体成品的性能才能符合要求。”
“骆垚,这一条你是怎么得出来的?”
“计算。”
“每一种稀土的晶体影响结果我都进行过计算,最终锁定了高纯稀土卤化物。”
杨明听到听到这里有些激动地说:“确实是高纯稀土卤化物没有错,这个之前我们也计算过。”
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